江丰电子请求氧化锆涂层专利能够有显着效果地对靶材及背板进行维护

日期：2024-03-12 作者：斯诺克直播球迷网jrs

江丰电子请求氧化锆涂层专利能够有显着效果地对靶材及背板进行维护详情

金融界2024年1月6日音讯，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子资料股份有限公司请求一项名为“一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备办法和使用“，公开号CN117344263A，请求日期为2023年10月。

专利摘要显现，本发明供给一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备办法和使用，所述制备办法有以下过程：(1)将背板的非喷涂区域进行掩盖维护，并对喷涂区域进行冷喷砂处理；(2)对冷喷砂处理后的背板的非喷涂区域进行掩盖维护，并进行预热；(3)选用等离子喷涂工艺对所述喷涂区域进行氧化锆喷涂，得到氧化锆涂层。本发明选用等离子喷涂法制备了一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层，该氧化锆涂层的细密度≥95％，纯度≥99.95％，微观均匀细密，绝缘功能优秀，能够有显着效果地得对靶材及背板进行维护。

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